ESC-LCO211-T5

產品與製程定位

ESC-LCO211-T5 無塵無氧化烘箱供光通訊、半導體及光電零件評估同時涉及顆粒與氣氛控制的熱處理。規格列出過濾、氮氣及多腔配置選項。潔淨程度與氧含量屬於不同的評估項目，應分別定義需求與確認方法。

選型規格重點

項目	已發布規格
內箱尺寸	650*650*500 mm
工作腔	單腔/雙腔/四腔
工作溫度範圍	25~500 ℃
潔淨等級	Class100/Class1000/Class10000
氮氣系統	氮氣過濾，浮子式流量計

系列選項與選配配件須按實際訂購配置確認。

適用製程與評估方向

若製程同時關注顆粒與氧化狀態，可先列出樣品端的判定方式，再確認量測配備、充氮流程及裝載安排。多腔配置也應說明各腔作業需求，確認實際訂購範圍。

選型前應確認

• 要求的潔淨等級與氧含量各為何，如何量測？
• 需要哪種工作腔及加熱方式配置？
• 開門、冷卻及取出後的樣品狀態如何納入驗收？
• 請提供現場電源電壓、頻率與相數，以便確認供電配置及介面。

相關應用與詢價

• 半導體封裝

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