ESC-NVO125-T6 充氮真空烘箱
安勝 ESC-NVO125-T6 充氮真空烘箱是一款專為精密電子與半導體研發設計的 125L 中型熱處理裝置。該裝置具備 600℃ 超高溫（T6 等級）執行能力，控溫精度達 ±0.5℃，透過 PID 精密演算法確保了溫場的極致穩定。其核心技術涵蓋 <20ppm 極速降氧、氮氣預熱及強制送風系統，有效解決了精密樣件在充氮過程中的防氧化難題與複雜零件受熱不均的痛點。此外，裝置採用高密度陶瓷纖維棉實現顯著節能，並配備數字化溫壓實時記錄功能，滿足半導體與醫藥行業嚴苛的合規審計需求，為科研與中試生產提供安全、理想且全過程可追溯的一流溫場環境。
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ESC-NVO125-T6 將真空處理與充氮功能結合，供精密電子、半導體樣品及材料研發評估低氧熱處理。選型時應同時考慮工件尺寸、腔體壓力與氮氣置換流程，而不只比較最高溫度。工作溫度、真空系統及氧含量量測配備須按實際訂購配置確認。
| 項目 | 已發布規格 |
|---|---|
| 內箱尺寸 | 500*500*500 mm |
| 工作溫度範圍 | A:室溫+25~200℃；B:室溫+35~300℃；C:室溫+45~400℃；D:室溫+50~500℃；E:室溫+60~600℃ |
| 真空系統 | 內建真空泵（油泵）/乾式幫浦（選配） |
| 氮氣系統 | 氮氣過濾；浮子式流量計 |
系列選項與選配配件須按實際訂購配置確認。
若製程關注氧化變色，可將抽真空、充氮、加熱與冷卻分段評估，記錄實際裝載下的氧含量及樣品結果。氧含量分析儀列於選配項目；氣源純度與腔內氧含量應分別確認。
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