應用指南鍵合前表面活化應用場景鍵合前表面活化應用場景:鍵合前驗證接觸角與實際鍵合拉力,固定處理到鍵合的時間。 核對電源頻率、氣體通路、電極形式和樣品遮擋情況。RF 與其他頻率電源的製程不能僅按功率數字直接移植。 圖片為目錄產品示意,用於說明候選裝置。熱門應用產品中心 2文章 2產品: ESC-2V產品: ESC-5V 文章: 鍵合前表面活化裝置選型要點文章: 鍵合前表面活化製程驗證與風險控制