應用指南小批次電漿清洗應用場景小批次電漿清洗應用場景:小批清洗按裝載位置比較試片結果,記錄載臺、氣體和電源條件。 先確定汙染物、基材和下一道黏著或塗覆工序;去汙和表面活化應分別評估,不能以處理時間單獨判斷效果。 圖片為目錄產品示意,用於說明候選裝置。熱門應用產品中心 2文章 2產品: ESC-2V產品: ESC-5V 文章: 小批次電漿清洗裝置選型要點文章: 小批次電漿清洗製程驗證與風險控制