洁净烘箱

不能由名称作此保证。工件、包装、托盘、开门操作及过滤维护都可能带入颗粒。应按规定工况检测腔内环境，并采用适合的方法评价工件表面。

洁净室条件与设备内部性能需要分别确认。设备过滤、密封、循环风及装载操作会影响腔内颗粒，需在实际安装和运行条件下验证。

CLO 重点评估洁净加热与颗粒控制，LCO 则同时评估颗粒和防氧化需求。具体气氛与过滤配置应按型号确认，两类指标不能相互替代。

先依据聚酰亚胺材料的固化窗口、残留溶剂与表面颗粒要求确定温度、排气和过滤方案。对 PI 固化炉的选型，还需确认是否有低氧要求；有此要求时可比较 LCO。CLO 应用应以实际涂层的固化、附着与颗粒检测结果验证，不能只看空载洁净等级。

光刻胶预烘、后烘与 PI 固化的材料目的和温度窗口不同，应分别依据配方要求设定程序。还需评估溶剂释放、过滤器耐温及污染交叉影响；共用设备前应验证清洁流程、残留与工件表面结果。

更换周期与工作温度、材料释气、颗粒负荷和开门操作有关，应结合压差、风量、颗粒检测及过滤器状态制定维护计划。更换后检查安装密封，并复测规定工况下的颗粒与温度分布，不能只按固定月份判断。

提供工件与载具尺寸、装载量、工作温度、目标颗粒粒径和计数要求，说明检测采用空载还是满载。若还需氮气、氧含量检测、水冷或记录功能，应在同一份配置表中列明，按相同检测条件比较报价。