ESC-LCO100-T5
ESC-LCO100-T5 无尘无氧化烘箱
安胜 ESC-LCO100-T5 无尘无氧化烘箱是一款专为 MEMS 传感器封装、半导体精密退火及光电元器件设计的 100L 精密型热处理设备。该机型支持 T5 级（最高 500℃）高温运行，凭借 PID 微电脑精密算法实现了 ±0.1℃ 的极致控温精度与 ±2.0% 的温场均匀度，确保了高价值样件在极端温场下的热一致性。
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| 参数项 | 数值 |
|---|---|
| 内箱尺寸 | 500*500*400 mm |
| 工作温度范围 | 25~500 ℃ |
| 工作腔 | 单腔/双腔/四腔 |
| 氮气系统 | 氮气过滤，浮子式流量计 |
| 加热方式 | 热风循环/热辐射 |
| 加热系统 | 无尘高速加热器 |
| 过滤系统 | 采用耐高温高效过滤器 |
| 洁净等级 | Class100/Class1000/Class1000/Class10000 |
| 控制系统 | 触摸屏程序控制型 |
| 安全装置 | 缺相保护，漏电保护，过载保护，超温保护，故障警示灯 |
| 可选配件 | ①记录仪；②氧含量分析仪；③氮气系统；④UPS;⑤扫码枪；⑥水冷降温系统；⑦推车；⑧通讯接口 |
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