ESC-CLO100-T5
ESC-CLO100-T5 潔淨烘箱
安勝 ESC-CLO100-T5 潔淨烘箱是一款專為半導體晶圓、MEMS 感測器及精密醫療器械熱處理設計的 100L 精密級裝置。該機型具備 T5 級（最高 500℃）高溫執行能力，依託核心的 H14 級耐高溫高效過濾器（HEPA）與全閉路迴圈風道設計，確保腔內持續維持 Class 100 級極致潔淨度，從源頭杜絕微塵汙染。
“實驗耗材批次留檔製程驗證與風險控制”應先明確具體材料的合格終點與實際裝載。以下內容用於需求討論與試樣驗證，參數須由材料資料和具體裝置配置確認。
實驗耗材歸檔關聯批號、裝載和清潔記錄，並核對烘乾後包裝儲存條件。
先定義顆粒汙染的檢測物件與位置：腔體空氣、工件表面還是包裝內部，並約定空載與工作狀態。
核對過濾器耐溫、安裝密封、循環風路與維護方式；潔淨室安裝位置本身不能證明裝置內部潔淨效能。
使用實際托盤和包裝測試顆粒沉積與溫度分佈，記錄開門裝卸、過濾器更換後的恢復表現。
潔淨烘乾與滅菌是不同的製程目標；滅菌宣告需要相應製程驗證，不能由烘箱溫度或潔淨配置直接推導。
驗證報告應列出感測器與校正狀態、原始曲線、材料結果、異常現象及接受或修訂製程的判斷依據。遇到結果不一致時，先區分樣品狀態、裝載和裝置表現的變化，再調整參數。
當前釋出目錄中的候選型號：ESC-CLO100-T5、ESC-CLO211-T5、ESC-CLO423-T5、ESC-CLO4500-T5。這些型號用於方案比較，是否適用仍取決於以上工況驗證。
CMS 中標記為已核驗且允許公開的參數（僅對應所列型號）：