ESC-CLO100-T5

ESC-CLO100-T5 潔淨烘箱

安勝 ESC-CLO100-T5 潔淨烘箱是一款專為半導體晶圓、MEMS 感測器及精密醫療器械熱處理設計的 100L 精密級裝置。該機型具備 T5 級（最高 500℃）高溫執行能力，依託核心的 H14 級耐高溫高效過濾器（HEPA）與全閉路迴圈風道設計，確保腔內持續維持 Class 100 級極致潔淨度，從源頭杜絕微塵汙染。