ESC-CLO211-T5 潔淨烘箱
安勝 ESC-CLO211-T5 潔淨烘箱是一款專為 5G 光通訊模組、半導體精密固化及光電元器件設計的 211L 工業型精密熱處理裝置。該機型具備 T5 級（最高 500℃）高溫執行能力，依託核心的 H14 級耐高溫高效過濾器（HEPA）與全閉路迴圈風道設計，確保腔內持續維持 Class 100 級極致潔淨度，從源頭杜絕微塵汙染。
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ESC-CLO211-T5 潔淨烘箱供光通訊模組、半導體及光電零件評估兼顧熱處理與顆粒控制的製程。設備規格列出高溫過濾系統及多種潔淨等級選項。選型時應按訂購配置確認等級、量測條件與實際工作區，而非僅以產品名稱判斷潔淨表現。
| 項目 | 已發布規格 |
|---|---|
| 內箱尺寸 | 650*650*500 mm |
| 工作溫度範圍 | 25~500 ℃ |
| 過濾系統 | 採用耐高溫高效過濾器 |
| 潔淨等級 | Class100/Class1000/Class10000/Class100000 |
系列選項與選配配件須按實際訂購配置確認。
顆粒控制可結合空載、裝載、開門及恢復後的不同狀態評估，並觀察工件表面與後續製程結果。循環方式、治具及托盤的配置，也應與實際裝載方式一起確認。
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