ESC-CLO100-T5
ESC-CLO100-T5 洁净烘箱
安胜 ESC-CLO100-T5 洁净烘箱是一款专为半导体晶圆、MEMS 传感器及精密医疗器械热处理设计的 100L 精密级设备。该机型具备 T5 级（最高 500℃）高温运行能力，依托核心的 H14 级耐高温高效过滤器（HEPA）与全闭路循环风道设计，确保腔内持续维持 Class 100 级极致洁净度，从源头杜绝微尘污染。
洁净等级确认应明确测量对象、位置、运行状态和检测方法，不能仅由设备名称推定等级。应按检测位置、运行状态、过滤配置和现场条件约定检查方法。
洁净等级确认测量位置、运行状态和方法，不由设备名称推断等级。 将上述颗粒或包装检查作为试验目标，固定观察位置、静态或运行状态、清洁经历与过滤配置，并保留比较基线。
注明已校准颗粒检测和温度通道，分别绘制腔内空气、零件表面或包装内部的测点及取样方法。
用实际托盘和包装运行，按主题比较过滤维护或现场导入前后，将颗粒恢复及沉积与温度和装卸路径关联。
区分过滤泄漏、外来污染与风路遮挡，按约定检测方法记录接受或复测，并保留原有洁净及灭菌声明边界。
先定义颗粒污染的检测对象与位置：腔体空气、工件表面还是包装内部，并约定空载与工作状态。
核对过滤器耐温、安装密封、循环风路与维护方式；洁净室安装位置本身不能证明设备内部洁净性能。
使用实际托盘和包装测试颗粒沉积与温度分布，记录开门装卸、过滤器更换后的恢复表现。
洁净烘干与灭菌是不同的工艺目标；灭菌声明需要相应工艺验证，不能由烘箱温度或洁净配置直接推导。
验证报告应列出传感器与校准状态、原始曲线、材料结果、异常现象及接受或修订工艺的判断依据。遇到结果不一致时，先区分样品状态、装载和设备表现的变化，再调整参数。
可供比较的候选型号：ESC-CLO100-T5、ESC-CLO211-T5、ESC-CLO423-T5、ESC-CLO4500-T5。这些型号用于方案比较，是否适用仍取决于以上工况验证。
以下参数仅对应所列型号：