ESC-CLO100-T5
ESC-CLO100-T5 洁净烘箱
安胜 ESC-CLO100-T5 洁净烘箱是一款专为半导体晶圆、MEMS 传感器及精密医疗器械热处理设计的 100L 精密级设备。该机型具备 T5 级（最高 500℃）高温运行能力，依托核心的 H14 级耐高温高效过滤器（HEPA）与全闭路循环风道设计，确保腔内持续维持 Class 100 级极致洁净度，从源头杜绝微尘污染。
耗材包装低颗粒烘干应按实际包装和装载检查热收缩、密封完整性及内表面颗粒。应结合材料资料、实际装载与具体设备配置确认参数及验收条件。
耗材包装检查热收缩、密封完整性与内表面颗粒，按实际包装装载验证。
先定义颗粒污染的检测对象与位置：腔体空气、工件表面还是包装内部，并约定空载与工作状态。
核对过滤器耐温、安装密封、循环风路与维护方式；洁净室安装位置本身不能证明设备内部洁净性能。
使用实际托盘和包装测试颗粒沉积与温度分布，记录开门装卸、过滤器更换后的恢复表现。
洁净烘干与灭菌是不同的工艺目标；灭菌声明需要相应工艺验证，不能由烘箱温度或洁净配置直接推导。
试验前记录样品初始状态、装载布局、配方版本与测量方法。预先约定合格终点，再比较不同装载位置的原始曲线和处理后材料结果，不能把设备设定值直接当作产品合格证据。
可供比较的候选型号：ESC-CLO100-T5、ESC-CLO211-T5、ESC-CLO423-T5、ESC-CLO4500-T5。这些型号用于方案比较，是否适用仍取决于以上工况验证。
以下参数仅对应所列型号：