用語集

窒素パージによる保護は、チャンバーに窒素を連続的または段階的に導入し、酸素濃度を下げて不活性雰囲気を形成する工程です。高温乾燥、硬化、アニール中の酸化欠陥を抑えられ、特に半導体、新エネルギー分野の電池、精密金属部品に適しています。ESSENSCIのNVO、BVO、NO、IGO、LCOシリーズはいずれも雰囲気制御を重視しています。

窒素予熱は、チャンバーに入る前に窒素を加熱し、冷たい気流が試料や温度分布に影響を与えるのを防ぐ方法です。この設計は温度変動と熱応力を抑え、窒素導入段階の工程安定性を高めます。高価な試料や大型チャンバー装置では、窒素予熱によって熱処理の一貫性を大きく改善できます。