用語集

HEPA高性能フィルターは空気中の微細粒子を捕集し、クリーンオーブンや無塵熱処理装置の中核部品です。チャンバー内を循環する空気の粒子汚染リスクを下げ、光電、半導体、医療機器の試料を保護します。高温環境では、ろ材の耐熱等級とシールの信頼性にも注意が必要です。

H14は高性能エアフィルターの等級の一つで、粒子管理の要求が厳しいクリーン装置によく使用されます。耐熱性H14フィルターを備えたクリーンオーブンは、熱処理中も微粒子汚染を継続して抑えられます。選定時には、捕集効率、耐熱性能、保守・交換周期を併せて確認する必要があります。