用語集

プラズマ活性化は、プラズマによって材料表面に極性基を導入するか微細な改質層を形成し、表面エネルギーと密着性を高める処理です。電子パッケージング、医薬品包装、精密部品の接着前処理によく用いられます。ESSENSCIの真空プラズマ洗浄機は、洗浄、活性化、表面改質の工程に使用できます。

プロセスウィンドウは、温度、時間、真空度、酸素濃度、圧力、気流など、安定して合格品が得られるパラメータの範囲の組み合わせです。範囲が明確なほど、量産の一貫性確保と問題の追跡が容易になります。装置選定と工程検証は個々の限界値だけでなく、実際のプロセスウィンドウを中心に行う必要があります。