用語集

酸素濃度は熱処理チャンバー内に残る酸素の濃度で、通常ppmで示します。酸化しやすい材料、半導体パッケージ、新エネルギー分野の電池部品では、低酸素環境によって酸化、変色、界面欠陥を減らせます。ESSENSCIの窒素導入型真空オーブンは、真空排気と窒素置換で酸素濃度を制御します。

酸素濃度低下時間は、装置内を初期の空気雰囲気から目標酸素濃度まで下げるのに必要な時間で、真空排気、ガス置換、ガス配管設計の効率を表します。短いほどバッチの切り替えが速くなり、試料が酸素を含む雰囲気にさらされる時間を減らせます。窒素導入装置の評価では、目標ppm、チャンバー容積、窒素消費量を総合的に判断する必要があります。