用語集

Class 100は従来の清浄度クラスの表記で、単位体積の空気中に許容される粒子数が厳しく制限されることを意味します。精密光電部品、半導体材料、医療機器では、Class 100相当の清浄環境によって粒子起因の欠陥を減らせます。クリーンオーブンは、フィルター、シール、循環風路でチャンバー内のこの水準を維持する必要があります。