用語集

清浄度クラスは、環境や装置内の浮遊粒子の管理水準を表し、Class 100やISO清浄度クラスなどで示されます。半導体、光電部品、医療機器の熱処理では、清浄度クラスが粒子汚染のリスクに直結します。ESSENSCIのクリーンオーブンおよび無塵・無酸化オーブンは、フィルターと循環風路によって粒子を管理します。