術語詞典

連續熱處理是樣品在輸送系統中依序通過加熱、恆溫或冷卻區域的自動化製程。適用於大批量、生產節拍穩定的固化、乾燥及熱處理生產。隧道式烘箱透過多溫區控制與輸送速度的搭配，確保每件產品受熱一致。

隧道式固化爐是用於連續輸送式固化或乾燥的熱處理設備，通常由進料段、加熱區、保溫區及出料段組成。適用於光電元件、新能源材料及電子元件的大批量處理。選型時須注意有效加熱長度、輸送帶寬度、溫區數量及輸送速度。

壓力固化是在受控壓力與溫度下完成材料固化，可提高界面貼合度、減少氣泡並改善結構穩定性。常用於封裝材料、複合材料及高可靠度黏接應用。壓力烘箱須同時確保壓力控制、安全洩壓及溫度場穩定。

密封性測試用來判斷包裝、容器或零件是否有洩漏風險，常見方法包括真空衰減、壓差檢測及氣泡觀察。醫療器材、食品軟包裝及電子用膠桶需要透過此測試驗證安全性。真空測漏箱利用負壓環境放大洩漏現象。

壓差檢測透過觀察密閉系統內外壓力差的變化，判斷是否發生洩漏。比單純目視檢查更適合定量且重複性高的密封性驗證。用於包裝與容器檢測時，應依據樣品容積、測試時間及允許洩漏標準設定參數。

氣泡觀察法是在真空或壓差條件下，觀察樣品是否有氣泡逸出，藉此判斷包裝或容器是否洩漏。方法直觀、容易操作，常用於食品、醫藥及日化產品包裝的抽樣檢驗。測試結果會受到液體介質、真空度與觀察時間影響。

熱應力是材料因溫度變化、溫差或熱膨脹不一致而產生的內部應力。過高的熱應力可能導致翹曲、裂紋、界面剝離或性能偏移。穩定升溫、均勻的溫度場及氣體預熱有助於降低熱應力風險。

冷熱衝擊是指樣品在短時間內經歷明顯溫度變化，造成熱負荷改變，可能引發裂紋、變形或界面失效。在充氮或換氣過程中，未經預熱的氣體也可能造成局部冷熱衝擊。設備設計須透過預熱、緩變控制及風道最佳化降低風險。

製程窗口是能穩定取得合格結果的一組參數範圍，包括溫度、時間、真空度、氧氣含量、壓力及氣流等。窗口越明確，越容易維持量產一致性並追溯問題。設備選型及製程驗證應以實際製程窗口為核心，而非只看單項極限參數。

資料追溯是記錄並回查溫度、壓力、真空度、氧氣含量及操作行為等關鍵製程資料的能力。有助於品質稽核、異常分析及批次責任釐清。半導體、醫藥及新能源生產通常要求設備具備可靠的資料匯出與權限管理功能。

多溫區控制是在同一設備內將加熱區域分為多個獨立控制單元，以符合長距離輸送或大型工件的溫度場需求。常見於隧道式烘箱及大型連續熱處理設備。透過分區補償，可縮小沿途溫差並提升批次一致性。