術語詞典

製程窗口是能穩定取得合格結果的一組參數範圍，包括溫度、時間、真空度、氧氣含量、壓力及氣流等。窗口越明確，越容易維持量產一致性並追溯問題。設備選型及製程驗證應以實際製程窗口為核心，而非只看單項極限參數。