術語詞典

充氮保護是持續或分階段向腔體導入氮氣，以降低氧氣含量並形成惰性氣氛的製程方法。它可減少高溫烘乾、固化及退火過程中的氧化缺陷，尤其適用於半導體、新能源電池及精密金屬零件。ESSENSCI 的 NVO、BVO、NO、IGO 與 LCO 系列均以氣氛控制為設計重點。