術語詞典

潔淨等級描述環境或設備內部對空氣中微粒的控制程度，常見表示方式包括 Class 100 或 ISO 潔淨等級。對半導體、光電元件及醫療器材的熱處理而言，潔淨等級直接影響微粒污染風險。ESSENSCI 的潔淨烘箱與無塵無氧化烘箱透過過濾及循環風道控制微粒。