術語詞典

Class 100 是傳統的潔淨度等級表示方式，意指單位體積空氣中允許的微粒數量受到嚴格限制。對精密光電、半導體材料及醫療器材而言，Class 100 等級的潔淨環境可降低微粒缺陷。潔淨烘箱須透過過濾、密封及循環風道維持腔體內的該等級環境。