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HEPA 高效率過濾器用於捕捉空氣中的微小粒子，是潔淨烘箱及無塵熱處理設備的核心元件。它可降低腔體循環空氣中的微粒污染風險，保護光電、半導體及醫療器材樣品。高溫環境下還須注意濾材的耐溫等級與密封可靠性。

H14 是高效率空氣過濾器的等級之一，通常用於對微粒控制要求較高的潔淨設備。配置 H14 耐高溫過濾器的潔淨烘箱，可在熱處理過程中持續控制微塵污染。選型時應同時關注過濾效率、耐溫能力及維護更換週期。