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無氧烘乾是在低氧或惰性氣氛中完成乾燥，適用於易氧化、吸濕或對界面敏感的材料。相較於一般熱風乾燥，它更重視氧氣含量、真空度及氣體置換效率。新能源電池、半導體封裝及特殊材料常採用無氧烘乾，以降低缺陷風險。