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氮氣預熱是在氮氣進入腔體前先加熱，避免冷氣流衝擊樣品及溫度場。此設計有助於減少溫度波動、降低熱應力，並提升充氮階段的製程穩定性。對高價值樣品及大型腔體設備而言，氮氣預熱可顯著改善熱處理的一致性。