術語詞典

資料追溯是記錄並回查溫度、壓力、真空度、氧氣含量及操作行為等關鍵製程資料的能力。有助於品質稽核、異常分析及批次責任釐清。半導體、醫藥及新能源生產通常要求設備具備可靠的資料匯出與權限管理功能。