應用指南

低顆粒熱風循環應用場景：低顆粒循環同時檢查溫度與顆粒結果，觀察實際托盤是否改變風路。 核對過濾器耐溫、安裝密封、循環風路與維護方式；潔淨室安裝位置本身不能證明裝置內部潔淨效能。 圖片為目錄產品示意，用於說明候選裝置。

精密零件表面能提升應用場景：表面能提升記錄檢測時間與儲存環境，檢查活化後隨時間變化的效果。 核對電源頻率、氣體通路、電極形式和樣品遮擋情況。RF 與其他頻率電源的製程不能僅按功率數字直接移植。 圖片為目錄產品示意，用於說明候選裝置。